- EAN13
- 9782746225626
- ISBN
- 978-2-7462-2562-6
- Éditeur
- Hermès science publications
- Date de publication
- 08/06/2011
- Collection
- TRAITE EGEM - S
- Dimensions
- 23,4 x 15,6 x 2 cm
- Poids
- 910 g
- Langue
- français
- Code dewey
- 620.11297
- Fiches UNIMARC
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Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium
Dirigé par Emmanuel Defaÿ
Hermès science publications
Traite Egem - S
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Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux
diélectriques ferroélectriques dans la technologie
silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des
matériaux pérovskites qui présentent des propriétés
électriques remarquables : permittivité diélectrique très
élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité,
électrostriction.
Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à l'état de céramique, les
couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup
moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique
sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur
le silicium et notamment pour les microsystèmes.
Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers
un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des
couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les
synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement,
la description de plusieurs réalisations technologies abouties.
diélectriques ferroélectriques dans la technologie
silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des
matériaux pérovskites qui présentent des propriétés
électriques remarquables : permittivité diélectrique très
élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité,
électrostriction.
Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à l'état de céramique, les
couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup
moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique
sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur
le silicium et notamment pour les microsystèmes.
Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers
un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des
couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les
synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement,
la description de plusieurs réalisations technologies abouties.
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